沈阳和研科技有限公司是一家专注于硅片切割，晶圆切割，特殊切割加工等领域。公司研发生产的DS610、DS620、DS820系列精密划片机是综合了水气电、高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备。主要用于硅集成电路、发光二极管、铌酸锂、压电陶瓷、砷化镓、蓝宝石、氧化铝、氧化铁、石英、玻璃、陶瓷、太阳能电池片等材料的划切加工。
划片机配套设备：贴膜机，清洗机，扩膜机，剥膜机，UV照射机。划片机配件和耗材：划片机主轴*装刀工具，划片机主轴，划片机*真空表气压表，划片机*吸盘，划片机主轴*吸盘（四片），划片机*吸盘（6英寸），划片机*吸盘（3英寸），陶瓷吸盘，划片机*喷水罩，划片机*流量计，划片机空气过滤组件，划片机用切割刀片，划片机*防水帘，划片机*刀盘（装刀法兰），划片机*导轨丝杆，划片机*绷环，划片机用UV膜、蓝膜，划片机用刀片。
DS616 精密划片机 (Precision Dicing Saw)
触摸屏，工件图像对准简单方便，自动图像对准
DS616精密划片机采用DS-200-6软件控制系统，对比DS610型本机型采用触摸屏操控方式，工件图像对准简单方便，拥有自动图像对准操作模式，节省操作时间，提高切割效率。
继承了经典机型DS610的优点，并进一步提高产能效率；
与DS610比较，提高约13%；
配备新型硬件，采用新版软件，提升各轴联动性能，减少响应时间；
配备大功率主轴，提升切割性能。
节省空间的设计 是目前我公司精密划片机里占地面积zui小的机型，相对于DS610减小12%。
特点：
l 全新GUI界面，操作简便
l 主轴气压、水压、电流时时监测，减少主轴损伤
l 设备结构设计合理，方便维护保养，减少故障率
l 切割范围均可根据客户需求进行适当调整，提高生产效率
l 可做160×160方形盘的增强功能
l 自动对焦功能
机器安全保护
含低气压、水压、工作台伺服、转台伺服、主轴驱动、测高系统、控制系统的故障报警以及开舱门停机报警功能。
可精密切割材料：
硅片、砷化镓、铌酸锂、氧化铝、陶瓷、玻璃、石英、蓝宝石、晶体、PCB板
应用领域：
二极管、三极管、MEMS、IC、LED、NTC、光伏、医疗器械、闪烁晶体
| DS616技术参数 | ||
| 配置与性能 | 加工尺寸 | ≤160mm×160mm或φ6″ |
| 切槽深度 | ≤4mm或 定制 | |
| 工作台平整度 | ±0.005mm/100mm | |
| 对准系统 | 70x 同轴+环形照明 (210x选配) | |
| 控制系统 | IPC Based | |
| 主轴 | 转速范围 | 3000～40000rpm |
| 输出功率 | 1.5kW （2.2kW选配） | |
| X轴 （驱动工作台左右运动） |
驱动方式 | 伺服电机 |
| 工作台左右行程 | 240mm | |
| 行程分辨率 | 0.001mm | |
| 速度设定范围 | 0.1～400mm/s | |
| Y轴 （驱动主轴前后运动） |
驱动方式 | 步进电机+光栅闭环控制系统 |
| 主轴前后行程 | 170mm | |
| 行程分辨率 | 0.0005mm | |
| 单步定位精度 | ≤0.003mm/5mm | |
| 全程定位精度 | ≤0.005mm/170mm | |
| Z轴 （驱动主轴上下运动） |
驱动方式 | 步进电机 |
| 主轴上下行程 | 30mm | |
| 行程分辨率 | 0.001mm | |
| 重复定位精度 | 0.002mm | |
| θ轴 （驱动工作台转动） |
驱动方式 | 伺服电机 |
| 正反转范围 | 360°任意 | |
| 转角分辨率 | 0.0005°(1.8″) | |
| 基础规格 | 电源 | 三相，AC 220V±10% |
| 耗电量 | 加工时 1.6KW | |
| 暖机时 1.2KW | ||
| 压缩空气 | 压力0.6MPa；平均流量300L/min | |
| 切削水 | 压力0.2～0.4MPa；流量3.0L/min | |
| 冷却水 | 压力0.2～0.4MPa；流量1.5L/min | |
| 排风量 | 300L/min （ANR） | |
| 外形尺寸W×D×H | 665×850×1650mm | |
| 重量 | 约500kg |
使用条件：
1. 请将机器设在20~25℃的环境中，并将波动范围控制在±1℃以内；室内湿度＜80%，无凝结。
2. 请使用大气压露点在-15℃以下，残余油份为0.1ppm，过滤精度在0.01μm/99.5以上的清洁压缩空气。
3. 请将切削水的水温控制为室温+2℃（波动范围在±1℃以内），冷却水的水温控制为与室温相同（波动范围控制在±1℃以内）。
4. 请避免设备受到重力撞击以及外界任何威胁振动。请不要将设备装在鼓风机、通风口、产生高温的装置以及产生油污的装置附近。
5. 请把本设备安装在有防水性地板以及有排水处理的场所。
