光譜橢偏儀SENresearch 4.0
寬光譜範圍和高光譜精度
SENresearch 4.0 光譜橢偏儀覆蓋寬的光譜範圍，從190 nm(深紫外)到3500 nm(近紅外)。傅立葉紅外光譜儀FTIR提供了高光譜解像度用以分析厚度高達200μm的厚膜。
沒有光學器件運動(步進掃描分析器原理)
為了獲得測量結果，在數據採集過程中沒有光學器件運動。步進掃描分析器(SSA)原理是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的一個獨特特性。
雙補償器2C全穆勒矩陣測量
通過創新的雙補償器2C設計擴展了步進掃描分析器SSA原理，允許測量全穆勒矩陣。該設計是可現場升級和實現成本效益的附件。
SpectraRay/4綜合橢偏儀軟件
SpectraRay/4 是用於先進材料分析的全功能軟件包。SpectraRay/4 包括用於與引導圖形用戶界面進行研究的交互模式和用於常規應用的配方模式
低成本高效益的光譜橢偏儀SENpro
成本效益
SENpro是具成本效益的光譜橢偏儀，同時不影響先進測量性能。
可變入射角
光譜橢偏儀SENpro包括可變入射角的角度計，40°—90°，步進值5°，用於優化橢偏測量。
步進掃描分析器
SENpro具有獨特的步進掃描分析器。在數據採集過程中，偏振器和補償器固定，以提供高的橢偏測量精度。
紅外光譜橢偏儀SENDIRA
橢偏振動光譜
利用紅外光譜中分子振動模的吸收帶，可以分析薄膜的組成。此外，載流子濃度可以用傅立葉紅外光譜儀FTIR測量。
傅立葉紅外光譜儀FTIR完全適用
集成賽默飛世爾Thermo Fisher製造的型號FTIR iS50紅外光譜儀。它也適用於一般的振動光譜。
