激光吸收量熱儀
德國漢諾威鐳射研究中心（LZH）研發的絕對吸收鐳射量熱儀，ISO標準級測試系統。
- 用於測試光學材料，薄膜材料，對鐳射的能量吸收測量，分析材料與薄膜特性的科學研究。
- 適用於不同波長鐳射器如193nm，248nm，266nm，532nm等，特別對真空紫外波長測試精確度高。
- 高性能光學材料分析，超光滑表面加工;真空紫外光學鍍膜等。
系統功能
- 真空光路充N2保護
- 全自動測試軟體程式控制
- EMP防護測試樣品腔室
- 可選配不同雷射器
- 自動鐳射衰減片
- 通過電加熱與100%吸引樣品進行絕對校正
- 系統對線性吸引與非線性吸收都靈敏
- 多樣品腔室選項
規格參數
根據當地的電氣和熱背景雜訊，可以達到以下限制：
- 靈敏度： <1 mK
- 熱雜訊： <100 μK （σvalue）
- 絕對誤差： 15%
- 相對誤差： 3%
- 光斑大小： 2mm – 5 mm
- 適用鐳射能量範圍：0，2 mJ/cm²–20 mJ/cm²（@193 nm）
樣品特點：
- 入射角：near AOI 0° & AOI 45°
- 標準樣品規格：直徑 Ø 25 mm，
- 厚度：1 mm – 7 mm
- 可根據應用要求定製
- 可提供多樣品測試機構
