三維微納形貌測量儀

三維微納形貌測量儀是一種三維表面形貌測量設備，它採用國際領先的白光共聚焦技術，可實現對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試，具有測量精度高，速度快，重複性好的優點，同時可用於取代傳統的探針式表面形貌儀與乾涉式表面形貌儀。