RIE/PVECVD/ALD & 橢偏仪

德国SENTECH仪器开发，制造和销售世界上先进的仪器设备，包括等离子刻蚀，等离子沉积和原子层沉积，以及薄膜测量仪器，包括光谱椭偏仪，反射膜厚仪和激光椭偏仪，还有光伏测量仪器。