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RIE/PVECVD/ALD & 橢偏仪
RIE/PVECVD/ALD & 橢偏仪
德国SENTECH仪器开发,制造和销售世界上先进的仪器设备,包括等离子刻蚀,等离子沉积和原子层沉积,以及薄膜测量仪器,包括光谱椭偏仪,反射膜厚仪和激光椭偏仪,还有光伏测量仪器。
激光椭偏仪
光谱椭偏仪
SI ALD LL矽层沉积
RIE 刻蚀机
ICP 感应耦合等离子刻蚀机
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