RIE/PVECVD/ALD & 橢偏仪

德国SENTECH仪器开发,制造和销售世界上先进的仪器设备,包括等离子刻蚀,等离子沉积和原子层沉积,以及薄膜测量仪器,包括光谱椭偏仪,反射膜厚仪和激光椭偏仪,还有光伏测量仪器。