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RIE / PVECVD / ALD & 橢偏儀
RIE / PVECVD / ALD & 橢偏儀
德国SENTECH仪器开发,制造和销售世界上先进的仪器设备,包括等离子刻蚀,等离子沉积和原子层沉积,以及薄膜测量仪器,包括光谱椭偏仪,反射膜厚仪和激光椭偏仪,还有光伏测量仪器。
激光橢偏儀
光譜橢偏儀
SI ALD LL矽層沉積
反應離子刻蝕機Etchlab 200
感應耦合等離子刻蝕機SI 500
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