晶圆芯片制造设备

产品包括：光刻机、光刻胶、匀胶、显影、等离子清洗机、紫外臭氧清洗机、RIE、 PECVD、ALD 、曝光机、椭偏仪、真空泵、检漏仪、汞灯、氙灯、台阶仪、3D轮廓仪、薄膜厚度测试仪……