晶圓芯片製造設備

產品包括：光刻機、光刻膠、勻膠、顯影、等離子清洗機、紫外臭氧清洗機、RIE、 PECVD、ALD 、曝光機、橢偏儀、真空泵、檢漏儀、汞燈、氙燈、臺階儀、3D輪廓儀、薄膜厚度測試儀……