光電材料與器件綜合表徵系統

Model:OPQE-ST/LT/MT

一,測試系統功能

光電材料與器件綜合表徵系統(OPQE)基於科研需求,設計用於測試半導體器件,功能材料(如鈣鈦礦),發光器件等綜合性能表徵系統。

  • 可實現低溫,真空,超連續光譜,瞬態等光電性能測試條件
  • 可測試參數包括:輸出特性,轉移特性,暗電流,光電流(光伏材料),光回應速度,變光強測試,電容,光譜回應等。


設備結構圖,光電測試原理

二,配置參數

系統由光源,傳輸光路,探針樣品台和光電測試三部分組成。 根據使用者需求,三大部分可以進行定製化開發,以實現不同光譜覆蓋範圍,不同測試環境和不同測試功能的實現

  • 光源類型:UV增強氘燈/超連續白光鐳射/多路波長單色鐳射
  • 探針台類型:低溫/常溫/高溫,有背柵,光纖導入磁場,真空等
  • 光信號耦合類型:低溫真空台的光斑大小一般為mm或cm

光纖導入型,光斑尺寸由光纖芯徑決定

常溫測試下,微區光斑約為2μm,在電極引出 情況下最小可達 500nm光斑

  • 測量操作裝置:分為手動控制,半自動,全自動三中規格


三    實測數據

(1)用戶實測數據

测试对象:高电子迁移率半导体(发表于Nanoscale,2019年)

测试手段:室温测试+真空探针台(液氮开循环)+B1500+500W氘灯+单色仪

测试内容:光电流随光功率的变化情况,光谱响应,响应速度

(2)用戶實測數據

测试对象:有机半导体异质结构

          (发表于:Nano Letters,2019年)

測試手段:室溫測試+真空探針台(液氦閉迴圈)+Keithley 4200+超連續白光激光器+聲光晶體調製器

(3)用戶實測數據

測試物件:二維無機半導體異質結構

          (发表于:ACS  Nano  2020年)

                   測試手段:室溫測試+真空探針台(液氦閉迴圈)+ Agilent B1500+500W氙燈+單色儀

測試內容:輸出轉移曲線,光回應度隨光功率的變化情況,光回應速度,光譜回應

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