動態干涉測量研究概述
動態干涉測量是一種利用同步移相來實現時變相位瞬態測量的技術,空域載頻相移是實現動態干涉測量的主要手段。 動態干涉測量相對於傳統干涉測量具備優秀的抗振性能,真正意義上實現了高精度干涉從實驗室走向車間在線環境測量,其已經成為大口徑光學製造,自適應光學系統,航空航太光學系統裝調等場合必不可少的檢測技術,並且可以為其它瞬態相位場的高精度測量提供解決方案,具備較強通用性
功能描述
福芯科技聯合中科院光學所研製的動態干涉測量設備,具備快速曝光瞬態相移的特點,可滿足大型光學元件長光腔下的在線測量。 設備由高穩定干涉測量光學系統與高精度相位測量軟體組成。 配備穩頻雷射器;採用精確裝備及標定技術在最大程度上保證了測量結果的精確性; 特有的相移演算法可實現動態相位的快速,高精度解調;測量軟體具備豐富的誤差分析,數據處理報告生成等功能,滿足一般光學測量需求。
優勢:測量儀器尺寸為 26cm*12cm*16cm體積小巧,調整方便;無需配備隔振平臺,可減少氣流擾動影響
光學面形干涉測量設備是光學加工領域最基礎的測量設備,光學生產線上不可或缺而且需求量巨大。
使用場合
- 大口徑非球面光學測量/車間環境下光學件在線檢查
- 光強環境擾動分析
- 自然應光學系統
- 航空航太光學系統調整
- 通信,醫療,材料製造,照明,測量儀器等行業
- 晶片晶圓,LED襯底的單晶矽,電池基板表面面形檢查關鍵測量設備
- 空間/地基望遠鏡,增材製造,航空,航太等大型精密系統和重大技術裝備關鍵核心技術
配置參數
- 儀器:抗振型干涉儀
- 相機:高分變率相機
- 解析度:1K*1K/2K*2K,媜頻>24fps
- 鐳射器:穩頻雷射器波長632.8nm
- 最大光強長度:>50m
- 通光口徑:10mm/50mm/100mm可定製
- 偏振態:圓偏振光
- 光瞳放大倍率:固定值
- 條紋對比度:用戶可調節
- 數據格式:dat,.xyz,.mat,,txt…..
- 計算機操作系統:Windows 10 (64bit)/Windows XP操作手冊;抗振時域相移測量模式;曝光控制,增益控制,採樣頻率設定;條紋顯示及Marks功能;Zenike系列顯示,相差分析;數據處理(加,減,平均)保存;報告生成;
- 尺寸:26cm*12cm*16cm
- 重量:11kg
- 功耗:小於750W
- 工作濕度範圍:15到30°c(59-86F)
- 系統性能:RMS重複性<0.3nm RMS 2σ–直接扣除系統誤差<3nm