匀胶 / 显影处理系统-Auto Track

產品特點：

• 同一設備實現2″-8″晶圓兼容.
• 塗膠、顯影模塊自帶暫停/恢復功能.
• 同片盒內每個矽片可分別制定工藝運行.
• 乾濕分離，電液分隔.
• 維護省力、簡便.
• 設備和各工位全封閉設計，不受外環境干擾可獨立增加層流罩，提升小環境潔淨度.