台式旋涂机(Table coater)

主要特點:

  • 高性能,低成本,手動型桌面旋塗機
  • 最佳的旋轉與微機控制功能(旋轉,停止,斜坡加速、減速)
  • 高旋轉精度±1RPM(無負載)
  • 多功能工藝參數、工步設置 適用各種不同的大小和形狀的基片,通過改變CHUCK實現編程簡單易操作