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台式旋涂机(Table coater)
台式旋涂机(Table coater)
Categories:
匀胶/显影/湿法 清洗机
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晶圆芯片制造设备
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General Details
產品視頻
主要特點:
高性能,低成本,手動型桌面旋塗機
最佳的旋轉與微機控制功能(旋轉,停止,斜坡加速、減速)
高旋轉精度±1RPM(無負載)
多功能工藝參數、工步設置 適用各種不同的大小和形狀的基片,通過改變CHUCK實現編程簡單易操作
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