真空紫外分光光度計
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德國漢諾威鐳射研究中心（LZH）研發 — 真正能夠測准UV波段透/反射率的專業級設備
- 真空紫外區（115-220nm）的光學元件的吸收，透/反射率的測試一直是比較困難的挑戰，由於空氣中含用的殘留的氧氣與微量有機物等，在UV光照射下會在元件表面發生光化學反應與光輻照變質等原因，存在樣品測試結果誤差大到無法接受，並且同一個樣品在不同時間下測試透反射率結果不同。 LZH研究人員根據自身科研需求，自行開發出VUV真空紫外分光光度計
- 系統多種測試能力：絕對透過率，絕對反射率，吸收率，變角度測試，，變角度散射率等;
- 應用高性能光學材料分析，超光滑表面加工;真空紫外光學鍍膜等
系統功能
- 輻射光源：雙燈D2燈（110-230nm），與 D2（155-300nm）
- 分光單色儀（MgF2視窗）
- 測量樣品室，抽真空系統 與 真空計 ，相容完全真空與充氮氣測試條件。
- 4位樣品支架，一個背景校正，可放3個樣品。
- 可靈活設置測試程式;
- 系統由軟體控制，全自動運行
- 提供PTB（德國計量院）校正的標準樣品
SPECIFICATIONS 規格參數
- 光譜儀波長重複精度：： < 0.1 nm
- 光譜解析度：<0.7nm @1200g光柵
- 0%基線平整度：不透明樣品< ± 0.05% （PV）
- 100%基線平整度：150- 230nm STD 0.15 % PV±3 %
- 入射角測試範圍：Transmission： 0° – 80° & Reflection： 7° – 80
- 系統穩定性：1hour < 75 % （PV）
- 光度準確度（Photometric accuracy）T< 0.3 % @ 190 nm – 210 nm ;R< 0.6 % @ 190 nm – 230 nm
- 偏振測試效率：在Brewster角下 R < 0.1%;
- 探測器調節角精度：Accuracy < 0.1°
- 樣品大小：直徑∅ = 1”/ ∅ = 2”
樣品實測透反射率精度
与标正过HR样品对比反射率测试@180-230 误差R<0.3% (PTB=95%,实测=94.7~95.2%@193nm) |
与标准石英片对比透过率测试@120-190nm T误差<0.3% (PTB=9.3%；实测T=9.1%@193nm) |
