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EBR边缘清洗机
EBR边缘清洗机
Categories:
匀胶/显影/湿法 清洗机
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晶圆芯片制造设备
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General Details
產品視頻
特點:
1、方形基片的邊緣清洗
2、邊緣區域:1-20mm
3、基片厚度要求:0.5-20mm
4、自動對準邊緣尺寸
5、液體可選可增配
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