动态干涉测量研究概述

动态干涉测量是一种利用同步移相来实现时变相位瞬态测量的技术,空域载频相移是实现动态干涉测量的主要手段。 动态干涉测量相对于传统干涉测量具备优秀的抗振性能,真正意义上实现了高精度干涉从实验室走向车间在线环境测量,其已经成为大口径光学制造,自适应光学系统,航空航天光学系统装调等场合必不可少的检测技术,并且可以为其它瞬态相位场的高精度测量提供解决方案,具备较强通用性

 

功能描述

福芯科技联合中科院光学所研制的动态干涉测量设备,具备快速曝光瞬态相移的特点,可满足大型光学元件长光腔下的在线测量。 设备由高稳定干涉测量光学系统与高精度相位测量软件组成。 配备稳频激光器; 采用精确装备及标定技术在最大程度上保证了测量结果的精确性; 特有的相移算法可实现动态相位的快速,高精度解调; 测量软件具备丰富的误差分析,数据处理报告生成等功能,满足一般光学测量需求。

优势:测量仪器尺寸为 26cm*12cm*16cm体积小巧,调整方便; 无需配备隔振平台,可减少气流扰动影响

光学面形干涉测量设备是光学加工领域最基础的测量设备,光学生产线上不可或缺而且需求量巨大。

使用场合

  • 大口径非球面光学测量/车间环境下光学件在线检查
  • 光强环境扰动分析
  • 自然应光学系统
  • 航空航天光学系统调整
  • 通信,医疗,材料制造,照明,测量仪器等行业
  • 晶片晶圆,LED衬底的单晶硅,电池基板表面面形检查关键测量设备
  • 空间/地基望远镜,增材制造,航空,航天等大型精密系统和重大技术装备关键核心技术

 

配置参数

  • 仪器:抗振型干涉仪
  • 相机:高分变率相机
  • 分辨率:1K*1K/2K*2K,媜频>24fps
  • 激光器:稳频激光器波长632.8nm
  • 最大光强长度:>50m
  • 通光口径:10mm/50mm/100mm可定制
  • 偏振态:圆偏振光
  • 光瞳放大倍率:固定值
  • 条纹对比度:用户可调节
  • 数据格式:dat,.xyz,.mat,,txt…..
  • 计算机操作系统:Windows 10 (64bit)/Windows XP操作手册; 抗振时域相移测量模式; 曝光控制,增益控制,采样频率设定; 条纹显示及Marks功能; Zenike系列显示,相差分析; 数据处理(加,减,平均)保存; 报告生成;
  • 尺寸:26cm*12cm*16cm
  • 重量:11kg
  • 功耗:小于750W
  • 工作湿度范围:15到30°c(59-86F)
  • 系统性能:RMS重复性<0.3nm RMS 2σ–直接扣除系统误差<3nm

 

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