真空紫外分光光度计
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德国汉诺威激光研究中心（LZH）研发 — 真正能够测准UV波段透/反射率的专业级设备
- 真空紫外区（115-220nm）的光学元件的吸收，透/反射率的测试一直是比较困难的挑战，由于空气中含用的残留的氧气与微量有机物等，在UV光照射下会在元件表面发生光化学反应与光辐照变质等原因，存在样品测试结果误差大到无法接受，并且同一个样品在不同时间下测试透反射率结果不同。LZH研究人员根据自身科研需求，自行开发出VUV真空紫外分光光度计
- 系统多种测试能力：绝对透过率，绝对反射率，吸收率，变角度测试，，变角度散射率等；
- 应用高性能光学材料分析，超光滑表面加工；真空紫外光学镀膜等
系统功能
- 辐射光源：双灯D2灯(110-230nm),与 D2（155-300nm）
- 分光单色仪（MgF2窗口）
- 测量样品室，抽真空系统 与 真空计 ，兼容完全真空与充氮气测试条件。
- 4位样品支架，一个背景校正，可放3个样品。
- 可灵活设置测试程序；
- 系统由软件控制，全自动运行
- 提供PTB(德国计量院)校正的标准样品
SPECIFICATIONS 规格参数
- 光谱仪波长重复精度：: < 0.1 nm
- 光谱分辨率：<0.7nm @1200g光栅
- 0%基线平整度：不透明样品< ± 0.05% (PV)
- 100%基线平整度：150- 230nm STD 0.15 % PV±3 %
- 入射角测试范围：Transmission: 0° – 80° & Reflection: 7° – 80
- 系统稳定性：1hour < 75 % (PV)
- 光度准确度（Photometric accuracy）T< 0.3 % @ 190 nm – 210 nm ；R< 0.6 % @ 190 nm – 230 nm
- 偏振测试效率：在Brewster角下 R < 0.1%;
- 探测器调节角精度：Accuracy < 0.1°
- 样品大小：直径∅ = 1’’/ ∅ = 2’’
样品实测透反射率精度
与标正过HR样品对比反射率测试@180-230 误差R<0.3% (PTB=95%,实测=94.7~95.2%@193nm) |
与标准石英片对比透过率测试@120-190nm T误差<0.3% (PTB=9.3%；实测T=9.1%@193nm) |
