UV曝光机系列(OAI)

Category: 光刻机

OAI Instruments 是业内生产可靠并精密设备的MEMS、半导体、纳米技术、洁净室自动化和紫外线光测量的制造商。 OAI系统可同时用于研发和生产半导体、MEMS和微流体装置。从光罩对准至UV光源及UV电力测量仪，OAI在同行业中已超过35年。

OAI主要产品: UV曝光机、太阳光模拟器、光功率计等。